AI芯天下丨热点丨国内首台10nmn纳米压印光刻机系统交付,光刻领域迎国产化突破
前言:由于半导体制造对图形保真度和套刻精度的极高标准,步进纳米压印技术必须依赖高硬度石英模板。这导致该技术对压印环境洁净
2025年08月12日- 2025年06月09日
- 2024年12月30日
- 2024年11月28日
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AI芯天下丨热点丨国内首台10nmn纳米压印光刻机系统交付,光刻领域迎国产化突破
前言:由于半导体制造对图形保真度和套刻精度的极高标准,步进纳米压印技术必须依赖高硬度石英模板。这导致该技术对压印环境洁净