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AI芯天下丨趋势丨电子束光刻机，又是什么新东西？

前言：在半导体制造领域，光刻技术始终是推动芯片性能升级的核心动力。随着芯片集成度持续提升，对光刻精度的要求也愈发严苛。电

光刻机电子束光刻机芯片

AI芯天下 2025年06月09日