机器人：目前暂无脑机接口相关产品

机器人在互动平台表示，公司目前暂无脑机接口相关产品。在半导体装备业务领域产品包括 EFEM、大气机械手、真空机械手及真空传输平台等，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节及领域。