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华海清科公告,公司近日第1000台CMP装备正式出机并发往国内集��电路龙头企业。目前,公司CMP装备已批量进入国内先进制程大生产线,部分核心技术指标超越国际先进水平。CMP作为实现纳米级表面平整度控制的核心工艺,在先进逻辑、先进存储及先进封装等领域的应用场景与工艺需求不断拓展。
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