消息称三星电子美国得州泰勒逻辑厂启动EUV光刻机调试

三星电子位于美国得克萨斯州泰勒市的2nm晶圆厂已进入试运营阶段，EUV光刻机的测试已启动，蚀刻和沉积流程的主要设备也正分阶段导入，为今年内的初步运营和2027年的全面投产做好准备。