全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”

2025-08-14 11:08:18

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

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